门阀 TM-PM
应用于刻蚀、PVD及CVD等传输腔与工艺腔之间
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产品特点
L-motion
自主知识产权
零振动
运动稳定,无摩擦
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富创质量管理秉承"好的质量是设计、制造出来的"为原则,关注客户端到端的质量服务,从研发、设计、过程全生命周期质量管理关注各环节中入口质量、过程质量、出口质量,以保证整体质量可控,最终构建成以以预防为主的质量文化,助力客户产品更具竞争力。