ETCH工艺气体传输控制柜

薄膜沉积、光刻、刻蚀三大工艺是最关键的环节,而刻蚀(etch)作为其中的重要一步,对技术和工艺的要求非常高。ETCH工艺气体传输控制柜是刻蚀设备气源控制的核心部件。

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ETCH工艺气体传输控制柜
ETCH工艺气体传输控制柜
  • 产品特点
  • 产品参数
  • 质量管理

产品特点

高精度流量控制

高精度流量控制

通过采用压力式质量流量控制器设计,实现复杂气路控制、气体混配

通过气路的最优设计,实现死区最小化;气体流经最小化,以减小气体流动波动对整体的影响,以及对控制精度的影响

安全稳定性

安全稳定性

气柜配有门互锁开关、压力安全开关、单向阀等安全部件保证气柜安全

设备采用防爆、防腐等设计,提高了设备的安全性能

高气密性

高气密性

采用高精度过滤器能够去除3nm以上的颗粒杂质

高洁净度

高洁净度

采用高精度过滤器能够去除3nm以上的颗粒杂质

安全认证

安全认证

通过SEMI S6测试安全认证

产品参数

外漏测试漏率 ≤1.0X10-11/mbar·L/s
内漏测试漏率 ≤1.0X10-9/mbar·L/s
保压测试50psi 氮气保压测试, 保压12h,压降 ≤1%
氦爆测试漏率 ≤1.0X10-9/mbar·L/s;(可选)
颗粒测试 (5 particle @ >0.1um)
水氧测试 水含量≤10PPB,氧含量≤10PPB;(可选)

质量管理

富创质量管理秉承"好的质量是设计、制造出来的"为原则,关注客户端到端的质量服务,从研发、设计、过程全生命周期质量管理关注各环节中入口质量、过程质量、出口质量,以保证整体质量可控,最终构建成以以预防为主的质量文化,助力客户产品更具竞争力。

质量管理

服务热线

024-31692130

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