加热内腔式盘
应用于干法蚀刻复杂气路系列的FNT系列机台用于逻辑，存储高端工艺的低纳米深孔洞原子级精确Etch的刻蚀机台128层或以上的NAND闪存工艺产线（ 14纳米或以下）
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产品特点
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质量管理
产品特点
高洁净度
(Particle@0.2um<15ea/cm2)
多层结构内腔清洗技术
0~300℃
快速升温，精准控温，稳定性高
加热丝装配技术，国内领先的多层钎焊和电子束焊接技术
小孔的孔径一致性极高
（STD<1.8um）
高精度的焊后平面/平行度和轮廓度机加能力
相关方案
质量管理
富创质量管理秉承"好的质量是设计、制造出来的"为原则,关注客户端到端的质量服务,从研发、设计、过程全生命周期质量管理关注各环节中入口质量、过程质量、出口质量,以保证整体质量可控,最终构建成以以预防为主的质量文化,助力客户产品更具竞争力。
