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高洁净度精密清洗技术
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高洁净度精密清洗技术

高洁净度精密清洗技术通过国际主流客户认证，为客户提供高洁净清洗方案

咨询专家
高洁净度精密清洗技术

技术特点

高洁净度

经过清洗后的产品表面LPC液态粒子检测和ICP金属元素检测达到主流国际客户的标准，可通过严苛的荧光测试（在紫外线检测下表面无可视荧光粒子）

01

应用场景

腔体内工艺零部件、涂层零件、镀层零件，应用于刻蚀设备、薄膜沉积设备等

腔体内工艺零部件、涂层零件、镀层零件，应用于刻蚀设备、薄膜沉积设备等

核心指标

“微量元素”

“颗粒数量”

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