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技术简介
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技术特点
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应用场景
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核心指标
不锈钢超高光洁度
制造技术
应用自主设计刀具通过钻、铣、铰等精密加工技术,使流道、功能面&密封面实现高面粗度、高硬度的性能要求。
应用不锈钢镜面抛光技术,在机械加工的基础上进一步提高流道面粗度,实现高质量、高效率的复杂工位镜面抛光。
产品流道内表面粗糙度满足SEMI标准的同时可达主流国际客户的更高标准,实现气体流通最小湍流、紊流,满足气体传输的快速反应与耐腐蚀要求。
咨询专家
技术特点
面粗度
流道Ra<0.1μm
Seal密封面Ra<0.1
01
平面度
<0.02mm
02
Seal密封面硬度
>300HV
03