Slit Door
应用于ETCH反应腔内，与机台等离子体直接接触的核心工艺部件，用于等离子体氛围中Liner传送晶圆入口处侧壁表面的防护
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产品特点
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质量管理
产品特点
使用内壁高纯钇基涂层
外壁阳极氧化，提高产品寿命
使用等离子喷涂技术做高纯钇基涂层
具备极高的化学稳定性及耐酸碱耐电压耐等离子腐蚀的涂层表面技术做防护，使得部件与等离子体直接接触
涂层原料纯度>99.95%
耐击穿电压>700V/mil，耐酸腐蚀>3h，结合力>14MPa
质量管理
富创质量管理秉承"好的质量是设计、制造出来的"为原则,关注客户端到端的质量服务,从研发、设计、过程全生命周期质量管理关注各环节中入口质量、过程质量、出口质量,以保证整体质量可控,最终构建成以以预防为主的质量文化,助力客户产品更具竞争力。
