传输腔
传输腔室半导体设备中的核心工艺零部件，对密封性、洁净度及耐腐蚀能力有较高要求
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产品特点
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产品参数
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质量管理
产品特点
高精密、复杂关键工位
零件有多处处关键工位和关键尺寸，对晶圆的传输和密封有关键作用
高密封性
传输腔用途主要是用于将晶圆从第一腔室转移至第二腔室，密封性是确保晶圆质量的关键因素
高洁净度
高洁净的设备零部件是晶圆工艺制程得到良品率的基础。制程设备的洁净度直接决定了在制晶圆及后续芯片的良品率，甚至决定了整条生产线是否有合格品产出
产品参数
| 材料 | 铝合金 |
| 外形尺寸 | 3200*1500*220mm |
质量管理
富创质量管理秉承"好的质量是设计、制造出来的"为原则,关注客户端到端的质量服务,从研发、设计、过程全生命周期质量管理关注各环节中入口质量、过程质量、出口质量,以保证整体质量可控,最终构建成以以预防为主的质量文化,助力客户产品更具竞争力。
