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等离子喷涂技术
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等离子喷涂技术

等离子喷涂（PS)是使用直流电源驱动，通过阴极与阳极之间产生超高温度的电弧等离子体，进而瞬间加热陶瓷等材料形成半熔融化，沉积在基材表面生成涂层的工艺方式。

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等离子喷涂技术

技术特点

等离子喷涂（PS）生成的涂层

具有高化学稳定性、高耐腐蚀性、高抗电性能及高洁净度等优点

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应用场景

等离子喷涂（PS)产品最常应用于刻蚀机台内与核心反应区域直接接触的内衬（Liner）等套件，以及PECVD、离子注入等兼具电学与化学腐蚀环境的机台中，对强卤族元素形成的等离子体如CF4、SF6 、Cl2、HBr等均有很好的耐腐蚀作用

等离子喷涂（PS)产品最常应用于刻蚀机台内与核心反应区域直接接触的内衬（Liner）等套件，以及PECVD、离子注入等兼具电学与化学腐蚀环境的机台中，对强卤族元素形成的等离子体如CF4、SF6 、Cl2、HBr等均有很好的耐腐蚀作用

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