加热盘-温度设计及制造解决方案提供
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以高温度均匀性确保工艺温度一致性
通过流程化，模块化与自动化的热设计与仿真能力，将全盘的工艺温度保持在合理范围之内
以精密机加与焊接技术复现设计
对发热体结构的精密评估，对发热丝槽体的精准把控，加上微米级别的装配与焊接技术工艺，将设计图纸以量产工艺复现为实体
以高质量的表面处理技术保证产品寿命
针对加热盘的高温表面与反应室腔体内部的严苛环境，需要根据对应的应用合理选择不同的表面处理技术，以保证产品可达到指定寿命
以严谨的产品检测流程严控产品质量
常规的尺寸检验，安规检验与温度均匀性检验，加上一系列的无损测试方式，降低工艺异常的同时，也杜绝了产品出现质量问题的可能性
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