双螺旋ALD喷涂匀气盘
应用于ALD，进行伽马γ合金沉积的设备中，该产品拥有超高洁净度及优秀的气体流量分配，进而沉积出致密的γ金属沉积物。
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产品特点
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相关方案
产品特点
高精度的气体流量一致性
(STD<20mTorr)
双螺旋通道精密加工、微孔五轴圆弧面加工微孔自动化量测、高洁净清洗
特殊氧化铝ALD涂层喷涂
5-500nm厚度
国内首家具备此种高致密零孔隙涂层的量产能力
高洁净度
Particle@0.2um<15ea/cm2
